книга Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе бесплатно скачать

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе бесплатно: Рассматриваются вопросы получения гетероэпитаксиальных структур кремния на сапфире и шпинели и формирования на их основе интегральных схем. Изложены методы выращивания кристаллов сапфира и алюмомагниевой шпинели, а также методы подготовки диэлектрических подложек к гетероэпитаксии. Рассмотрены вопросы получения монокристаллических слоев кремния газотранспортными методами, особенности кристаллического строения и электрофизических свойств кремния на диэлектрических подложках. Книгу завершает материал о приборных разработках.